微电子材料和器件作为微电子产业的基础,微电解材料的制造关系着电子设备使用寿命的长短,微电子材料分为分立器件、光电器件、集成电路器件和传感器等,这一类的工业用到的纯水需要采用专业的水处理设备,今天来了解一下关于微电子材料行业用的水处理设备。
微电子材料需要用到电子行业专用的超纯水制备装置,集成电路芯片、液晶显示、高精度线路板、各种电子器件、微电子工业、半导体等行业都是可以用到电子超纯水设备。
微电子水处理设备采用离子交换技术、两级反渗透水处理技术、高效反渗透加EDI水处理技术制取出水质为18.2M *cm。
两级反渗透水处理工艺流程:原水预处理→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→一级反渗透主机→PH调节→混合器→二级反渗透主机(反渗透膜表面带正电荷)→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水对象。
采用反渗透加离子交换技术第一次的投资比采用离子交换树脂方式要稍高,但是离子再生周期相对要长,因此耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多,这是目前算比较经济与流行的一种工艺。
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